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4200脉冲IV测量CMOS晶体管时探针如何互连?

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发表于 2015-12-19 10:38 AM | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
4200-PIV包[1]无需重新布线或切换,可以给DUT[2]引脚提供直流和脉冲能力。这种能力的关键是4200-RBT远程偏置T型接头,它采用无源电器元件将低频直流信号和高频脉冲信号相结合。

4200-RBT的连线是SMA同轴电缆,它将连接到很多RF和直流探针设备上。

直流探针互连

对于直流结构,内含的适配器电缆(4200-PRB-C[3],图14)将SMA转换为直流设备上的双SSMC连接。

图14. 4200-PRB-C 4200脉冲SMA至SSMC的Y适配器

许多探头设备在探针支架上是SSMC[4]的连接
Cascade DCM- 2xx开尔文直流探头设备 Suss Microtec的探头尖端 Signatone SCA- 50的同轴探头 美国探测及技术 74CJ系列同轴探头支架 靠近探头尖部,为SSMC接头的任何探针互联系统
这些SMA至SSMC“Y”适配器电缆适合于以直流结构标称的晶圆上的脉冲IV测试。这些“Y”电缆不适于更高频率的设备。没有指定频率的上限,这是因为实际设备和探头的配置对测试会有显著的影响。一般情况下,当使用直流探头连接和4200-PRB-C电缆时,任何高于1GHz Ft的设备可能会发生振荡。

射频探针互连

如果设备是射频布局(G-S-G),那么“Y”适配器电缆和直流探针设备很可能不够用。 在RF G-S-G焊盘布局的情况下,不使用4200-PRB-C “Y”电缆,只需使用4200-PIV包提供的较短的SMA电缆(6寸/15厘米),用此电缆会直接将4200-RBTs与RF设备(下文中图16)相连。请注意,具有功率分配器的4200 -RBT连接到门极。
图16. 远程偏置T型接头至RF的RF G-S-G的脉冲IV连接

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[1] 4200-PIV包http://www.keithley.com.cn/products/dcac/voltagesource/?mn=4200-PIV
[2] DUT http://www.keithley.com.cn/events/proddemos/27xxdemo/demoimages/PD1_DUT.jpg/view
[3] 4200-PRB-C http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/parametricanalyzer/4200scs/?mn=4200-PRB-C
[4] 双SSMC至SMA电缆http://www.keithley.com.cn/products/dcac/waveform/?path=4200-PRB-C/RELPRD_4200-PRB-C
[5] 4200-PIV http://www.keithley.com.cn/products/dcac/voltagesource/?mn=4200-PIV

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