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air cleanliness class清洁空间单元体积氛围中,以大于或即是被思量粒径的粒子最大浓度限值举行分别的品级尺度。用空态和静态方法进行测试。
一、洁净室的空气洁净度,应进行下列测试
(一)空态、静态测试
空态测试:洁净室已竣工,净化空气调治系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。
静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。
(二)动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。
洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。
二、空态、静态测试
(一)测试前的准备
1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。
2、接纳光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不敷,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口隔断高效空气过滤器2--3厘米处,可以2~4厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。
当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒凌驾3粒/分・升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。
三、动态测试。在洁净工作区利用位置选择有代表性测点的气流上风向进行,测试方法同空态、静态测试。
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